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| 产品名称： | JKZC-DN系列增强型探针台 |
| 产品型号： | |
| 品牌： | |
| 产品数量： | |
| 产品单价： | 面议 |
| 日期: | 2024-09-18 |
JKZC-DN系列增强型探针台的详细资料
JKZC-DN系列增强型探针台
产品概要
JKZC-DN系列增强型探针台是我司一款增强型晶圆测试探针台，最大可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台釆 用高刚性显微镜龙门结构，显微镜可X-Y-Z方向进行精密位移调节。卡盘具备上下调节功能,可以使探针与 样品快速分离，提高测试效率，在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用，配合对应的仪器仪表,可以完 成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆LED/LCD/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试。
JKZC-DN系列增强型探针台技术特点
•显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降，保证高质量的光学成像；
•卡盘同时具备快速和微调升降，便于样品和探针快速分离，也可以加载探针卡；
•可升级性强，可升级卡盘360度快速移动，可升级光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。
JKZC-DN系列增强型探针台详细参数
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产品型号 技术参数 |
JKZC-DN4 |
JKZC-DN6 |
JKZC-DN8 |
JKZC-DN12 |
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探针台台体 |
主体材料 |
航空铝 |
航空铝 |
航空铝 |
航空铝 |
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整机尺寸（mm） |
580L*480W*620H |
630L*530W*620H |
700L*580W*620H |
800L*650W*620H |
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重量 |
50kg |
60kg |
80kg |
120kg |
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自适应减震系统 |
自适应减震底座设计，可有效过滤环境中的震动源干扰 |
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卡盘大小 |
4",360度转动，可微调 |
6",360度转动，可微调 |
8",360度转动，可微调 |
12",360度转动，可微调 |
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卡盘XY5S行程 |
4"*4"，精度 10um |
6"*6"，精度 lOurm |
8"* 8"，精度 |
12"*12，精度 10um |
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卡盘Z轴行程 |
快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1微米 |
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卡盘材质 |
不锈钢镀金，具备更小的接触电阻 |
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卡盘吸附方式 |
真空吸附，可选择环形吸附或者多孔吸附（适用于薄片） |
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背电极测试功能 |
卡盘镀金，电学独立悬空，带2个4mm香蕉头插口，具备背电极功能 |
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其它功能 |
带标准接地保护，可升级，ChJKZC-UCk360度快速移动（选件） |
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针座平台 |
材质 |
U型平台，Q235镀第带接地端子 |
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大小 |
最多可放置4〜6个探针座 最多可放置8~10个探针座 |
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■mkZB系统 |
显微镜类型 |
体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统 |
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倍率范围 |
16X~200X/40X~280X/20X~4000X |
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显微镜行程 |
具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2英寸，精度lum |
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CCD成像系统 |
2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能 |
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探针座 |
种类 |
丝杆型/微分头型/经济型探针座 |
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X-Y-Z行程 |
12.5mm-12.5mm-12.5mm |
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机械精度 |
0.5um/0.7um/2um |
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夹具 |
漏电精度 接口形式 |
同轴夹具10pA/三轴夹具lOOfA |
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同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口 |
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其它 |
选件 |
ChJKZC-UCk360度快速移动/屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率 |
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电力需求 |
220V/50HZ |
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