您当前的位置：首页 » 产品展示 » 探针台 » JKZC-DH系列综合型探针台
| 产品名称： | JKZC-DH系列综合型探针台 |
| 产品型号： | |
| 品牌： | |
| 产品数量： | |
| 产品单价： | 面议 |
| 日期: | 2024-09-18 |
JKZC-DH系列综合型探针台的详细资料
JKZC-DH系列综合型探针台
|产品概要
JKZC-DH系列综合型探针台是一款综合型晶圆测试探针台，最大可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台设备配 置十分丰富，不仅具备龙门架结构和卡盘的升降功能，还具备业内领先的卡盘快速移动技术，可快速定位 样品位置,提高测试效率。另外针座平台具备三段式升降功能,在不失焦的情况下可以使样品和探针做到 快速分离，同时也方便探针卡的使用。此设备在大型实验室或者半导体工厂得到广泛运用，配合对应的仪器仪表，可以完成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆/LED/LC- D/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试,也可以实现搭载探针卡的测 试。
|JKZC-DH系列综合型探针台技术特点
•卡盘可360度快速移动，便于快速定位样品位置,提高测试效率；
•三段式可升降探针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离；
•加厚级刚性金属框架结构设计,领先的内部防震技术，结构性能稳定。
JKZC-DH系列综合型探针台详细参数
|
产品型号 技术参数 |
JKZC-DH6 |
JKZC-DH8 |
JKZC-DH12 |
|
|
探针台本体 |
主体材料 |
航空铝 |
航空铝 |
航空铝 |
|
整机尺寸（mm） |
750L*550W*680H |
800L*580W*680H |
930L*700W*680H |
|
|
重・ |
75kg |
95kg |
150kg |
|
|
卡盘大小 |
6" ,360度转动，可微调 |
8",360度转动，可微调 |
12；360度转动，可微调 |
|
|
卡盘XY轴行程 |
6"6",精度 10um |
8"*8"，精度 10um |
12"*12"3m 度 10um |
|
|
卡盘Z轴行程 |
快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1微米 |
|||
|
卡盘材质 |
不锈钢镀金，具备更小的接触电阻 |
|||
|
卡盘气浮移动范围 |
360度快速移动，便于快速定位，提高测试效率 |
|||
|
卡盘吸附方式 |
真空吸附，可选择环形吸附或者多孔吸附（适用于薄片） |
|||
|
背电极测试功能 |
卡盘镀金，电学独立悬空，带2个4mm香蕉头插口，具备背电极功能 |
|||
|
其它功能 |
带标准接地保护，可升级 |
|||
|
针座平台 |
材质 |
U型平台，Q235镀银，带接地端子 |
||
|
大小 |
最多可放置6个探针座 |
最多可放置8个探针座 最多可放置12个探针座 |
||
|
三段式升降平台 |
探针平台可以快速升降，拥有5mm和300um两档，探针平台可以上下微调， 行程25mm,升降精度gm。（使用探针卡的时候使用） |
|||
|
显TH系统 |
显微镜类型 |
体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统 |
||
|
倍率范围 |
16X~200X/40X~280X/20X~4000X |
|||
|
显微镜行程 |
具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2英寸，精度lum |
|||
|
CCD成像系统 |
2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能 |
|||
|
探针座 |
种类 |
丝杆型/微分头型/经济型探针座 |
||
|
X¥Z行程 |
12.5mm-12.5mm-12.5mm |
|||
|
机械精度 |
0.5um/0.7um/2um |
|||
|
夹具 |
漏电精度 |
同轴夹具10pA/H轴夹具lOOfA |
||
|
接口形式 |
同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口 |
|||
|
其它 |
选件 |
屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率/半自动 |
||
|
电力需求 |
220W50HZ |
|||